一级aa片

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            1. 案例詳情

              廣東某半導體廠顆粒物,含油量,微水測量

              日期:2022-04-09 23:31
              瀏覽次數:0
              摘要:上海睿丹自動化儀表有限公司提供進口顆粒物,含油量,微水測量和五項測試檢測技術內容測試項目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測漏與壓力測試等其他項目測試


              五項測試檢測技術內容

               

              測試項目包括微粒、氧氣含量、水份、氦氣測漏與壓力測試。

              注:1、管路微粒、水氧等測試前須先銜接廠務端接點后,以閥箱或氣柜內之test port通入N2(c)進行測試,如N2(C)純度不夠無法滿足要求,廠商需自配純化器。

                  2、施工purge及保壓、微粒、水份測試等限定使用N2

               

              一、管線測試規范如下:

              1.管路持壓測試

              Bulk-gas及Purified-gas持壓測試時間≧6小時; Special-gas持壓測試時間≧24小時 (須檢附保壓記錄器圓盤記錄紙);合格標準:氣體保壓測試初始壓力7.5~8.5 kg/cm2,持壓后△P≦1%初始壓力

               

              2.管路微粒測試

              Purified-gas 及 Special-gas氣體管路須進行微粒測試,并須檢附Particle Counter紀錄紙;合格標準:每10分鐘測1點,連續測3次,Purified-gas、Special gas粒徑≦0.1μm,顆粒數≦0 pcs/cf

               

              3.管路水份/氧分析測試

              Purified-gas 及 Special-gas(含H2、不含NG)氣體管路須進行水份、氧分析測試,并須檢附水份、氧分析儀紀錄紙;合格標準:測試時間30分鐘,D.P(含水量)≦10 ppb   D.P(含氧量)≦10 ppb。水份分析儀誤差range為±4ppb,允許實測讀值應小于6ppb

               

              4.管路氦測漏

              Purified-gas 及Special-gas(含H2、不含NG)氣體管路須進行氦測漏測試,并須檢附氦測漏機紀錄紙;合格標準:測試時間30分鐘,漏率≦1*10-9 Atm cc/sec

               

              .測試要求:

              所有測試按接機點計算,必須保證所有管路均有測試,必須將所有管路末端單一逐一測試,或者末端串聯測試,保證管路都經過儀器檢測,測試高純氣體與特殊氣體分開測試。

               

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